百级、千级、万级洁净室分别该用什么等级的无尘布？

在洁净室环境中，无尘布的等级选择需与洁净室级别严格匹配，以避免污染物超标。

百级洁净室对微粒控制要求极高，每立方英尺大于等于 0.5μm 的微粒数需≤100 个，应选用Class 10 级无尘布。这类无尘布通常采用连续长丝聚酯纤维织造，经 18MΩ 超纯水清洗及激光封边处理，单擦拭面微粒脱落量≤10 个 /ft²（0.5μm 以上），且不含硅、胺等污染物，适用于半导体晶圆、光刻胶涂布等高精度场景。

千级洁净室（微粒限值≤1000 个 /ft²）可选用Class 100 级无尘布。其多为聚酯 / 尼龙混纺材质，经超声波封边，微粒脱落量控制在 50 个 /ft² 以内，纤维密度达 300 根 / 英寸以上，能满足 LCD 面板装配、光学镜片擦拭等需求。

万级洁净室（微粒限值≤10000 个 /ft²）适配Class 1000 级无尘布。该等级无尘布采用短纤维织造，经普通纯水清洗，微粒脱落量≤100 个 /ft²，成本相对较低，适用于医疗器械组装、电子元件初加工等场景。

选择时还需结合擦拭对象的敏感度，必要时通过 ISO 14644-1 标准测试验证兼容性。

 

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