半导体Fab厂对防静电无尘服的要求，比普通电子厂严得多。最核心的一条：必须耐受121℃高温高压灭菌，同时耐清洗次数不低于 100次。

普通棉质或劣质化纤洗几次就发尘、导电丝断裂。面料选择聚酯长丝+永久性导电纤维，导电绸规格要匹配洁净等级。百级区域用2.5mm 网格，万级区域可用5mm 网格。接缝必须热熔胶压条，拉链要有挡尘片。普通洁净服 达不到这个要求，洗几次就报废。

耐高温清洗的意义在于灭菌。半导体厂对微生物控制要求高，121℃高温高压灭菌能杀灭细菌芽孢。但高温也会加速面料老化，所以导电纤维必须是永久性的，不能是表面涂层。配套使用的无尘布 也要耐高温灭菌，否则擦拭时引入污染。

我们晶圆厂用的那家供应商，面料是进口的，洗了50次检测数据还在标准内。他们提供清洗次数记录和每次检测报告，审厂时直接拿出来，省了很多解释。